光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。
无尘车间洁净室（区）与周围的空间必须维持在一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。1、不同等级的无尘车间洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。2、无尘车间洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定3、送风、回风和排风系统的启闭宜联锁，正压差洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机，关闭时联锁程序应相反，负压差洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反4、非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。
无尘车间的温湿度操纵由其生产工艺流程决策，但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如计量检定室、光纤传感器刻线室、仪器仪表生产制造和装配线车间等。前两者都为小屋子，中央空调精度(这儿关键指温湿度)规定高；后二者为很大的生产制造车间，温湿度精度规定较低。因此其屋子尺寸也会决策恒温恒湿设备车间的精度。无尘车间对温湿度的操纵决取于其生产工艺流程。在考虑制作工艺的标准下，还应当充分考虑人的舒适度。由于流汗之后，对商品将有环境污染，非常是怕钠的半导体材料车间，这类车间不适合超出25度。环境湿度过高造成的难题大量。相对湿度超出55%时，冷却循环水壁厚上面冷凝水，假如产生在高精密设备或电源电路中，就会造成各种各样安全事故。相对湿度在50%易锈蚀。
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